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真空灭弧室的寿命可分为真空寿命、电寿命和机械寿命。任一寿命终了，都要更换真空灭弧室。
真空寿命包括真空灭弧室的储存寿命和最低工作真空度。真空储存寿命为20年，即从出厂之日起，真空灭弧室在20年的储存期内，其真空度不得低于最低工作真空度。最低工作真空度为6.6×10-2Pa。低于6.6×10-2Pa，真空灭弧室的绝缘性能和开断性能都会下降。真空度可通过磁控真空计或工频耐压法检验。
电寿命是指真空灭弧室能够成功开断额定短路电流的次数或开断额定电流的次数。实际使用过程中，开断的电流既可能是额定短路电流，也可能是额定电流或比额定电流还小的电流，还可能是介于额定短路电流与额定电流的任意值的电流，开断的电流是随机的。所以，使用电寿命是无法用次数计算的。只能根据触头烧损量或由于触头烧损沉积在绝缘外壳内表面的金属蒸发物是否严重影响绝缘或触头表面严重烧损后影响绝缘等因素确定。一般规定触头的烧损量为3mm。绝缘外壳内表面的绝缘和额定开距时触头间的绝缘可通过工频耐压和冲击耐压检验。
机械寿命一般是由真空灭弧室的波纹管决定的。而波纹管的寿命又与其使用状态有关。开距过大、波纹管受扭伤、开关合闸弹跳和分闸返弹，都将降低真空灭弧室的机械寿命，应该尽量避免。机械寿命是否终了，可通过真空开关上的计数器得知。
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