真空灭弧室安装前应检查其是否因运输等原因而损坏，型号、参数是否正确，外形尺寸、工频耐压、真空度、额定触头压力下的接触电阻等各项参数是否合格。安装前要用干净纱布将其导电杆、螺钉板等导电部位的灰尘等污物擦除，以使接触导电良好;将绝缘外壳表面擦拭干净，防止爬电。安装时应先将真空灭弧室的静端固定，紧固螺钉板上的螺钉时，应对称均匀紧固。安装导电夹或连接螺杆时应用专用扳手卡住动导电杆铣扁处，使之不能转动，以防扭伤波纹管。与连接螺杆相连的拉杆要与动导电杆同轴。真空灭弧室的安装一定要满足真空灭弧室产品使用说明书的要求。如触头压力、开距、分闸速度、合闸速度、弹跳、返弹等。
触头压力过小，关合时很容易熔焊，长期工作时的温升也会过高。开距过小，就会影响其绝缘和开断性能;开距过大，就会影响真空灭弧室的机械寿命。分闸速度过小，特别是刚分速度过小，动触头不能在较短时间内达到较大的行程，两触头间的绝缘恢复速度低于系统的电压恢复速度，就不能有效开断;分闸速度过大，动触头组件的动能就会过大，到达最大开距时返弹，两触头间产生重燃或重击穿。合闸速度过小，合闸过程时间就会过长，两触头间的预击穿严重，触头表面严重熔化，容易产生熔焊;合闸速度过大，触头容易弹跳而熔焊。弹跳和返弹除了影响合、分闸性能外，还会降低真空灭弧室的机械寿命。安装完毕后，要空载操作几十次至几百次，并检查紧固螺钉是否有松动，参数是否有变化，若有变化则调整之。
真空灭弧室投入使用后，应经常擦拭绝缘外壳，使之清洁干燥，以免降低耐压水平。应定期检查调整真空开关的超程，保持触头间的压力。定期用工频耐压法检查真空灭弧室的真空度，如出现明显的辉光放电或持续放电或耐压水平明显下降，应及时更换真空灭弧室。应定期检查真空灭弧室触头烧损标志的位置，推算触头烧损量，当烧损量达3mm(烧损标记与导向套口齐平)时，表明电寿命已经终了，应更换真空灭弧室。
