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真空灭弧室内部真空度出厂标准为<1.33×10-3Pa，真空寿命为20年。 真空灭弧室的动导电杆与波纹管密封一起，是一可动部件，通过与操动机构连接，在操动机构带动下，可以沿灭弧室轴向运动从而带动灭弧室动触头完成合、分动作。
当动导电杆在操动机构带动下合闸时，动静触头闭合，电源与负载接通。当动导电杆在操动机构带动下带电分闸时，触头间产生真空电弧。
当真空灭弧室的触头在真空中带电分离时，电接触表面积迅速减小，当动、定触头在分离的瞬间，电流收缩到触头刚分离的某一点或某几点上，电极间电阻剧烈增大，温度也迅速提高，最后金属桥熔化并蒸发出大量的金属蒸汽，同时形成极高的电场强度，导致剧烈的场致发射和间隙的击穿，产生了真空电弧，真空电弧不是靠电极间气体分子电离来维持的，而是依靠触头材料蒸发所形成的出来金属蒸汽来维持。
当工作电流接近零时，同时触头间距的增大，真空电弧的等离子体很快向四周扩散，电弧电流过零后，触头间隙的介质迅速由导电体变为绝缘体，于是电流被分断，开断结束。
燃弧过程中产生的金属蒸汽被屏蔽罩表面冷凝，释放的少量气体中的一部分被凝聚的金属蒸汽吸收，一部分被灭弧室内的吸气剂吸收，是真空灭弧室一直维持较高的真空度。
如果具有合理的触头结构，可以使电弧均匀分布在触头表面，从而减小电弧能量和触头的电腐蚀速度，并使真空灭弧室具有较高的弧后介质强度的恢复速度。
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