真空气密性是影响真空灭弧室的性能及树木的主要因素之一，因此真空捡漏是真空灭弧室制造工艺中可靠性保障的重要工序。电真空器件的结构特点及测量精度要求决定了氦罩法和喷吹法是电真空器件氦质谱检漏技术中最常用方法。
氦质谱检测技术以其漏点漏率可量化、灵敏度高、速度快、使用安全、适用范围广等特点，在航空、航天、汽车和电真空行业得到了广泛的应用。与其他诸多传统检漏方法相比，氦质谱检漏具有不可比拟的技术优越性。氦罩法和喷吹法是电真空器件氦质谱检漏技术中最常用的两种方法。氦罩法是对总漏率进行测定，当总漏率超出允许值后用喷吹法进行漏孔的准确定位。
