致使真空灭弧室压强继续升高的最重要的缘由是漏孔漏气。抱负真空室的漏气率应为零，但在实践使用中是不可能的。在真空灭弧室的制作进程中，经过氦质谱检漏仪能够检测出漏气率大于1x10-7Torr?升/秒(1Torr=133.322Pa)的商品。而经过静置寄存能够将漏气率大于1x10-11Torr?升/秒的商品检出。可是若是需求真空灭弧室能到达运用寿数(通常为10-20年)，那么由公式：
Q=V(P2-P1)/T
式中：Q—漏气率(Torr?升/秒);
V—真空灭弧室的内部容积;
P—真空灭弧室的内部真空压力。
可算出灭弧室的答应漏气速率只能到达10-13数量级。而气体浸透的速率现已挨近这个答应值。因而1x10-11Torr?升/秒的漏气率对灭弧室的运用寿数仍有较大影响。而一些存在制作缺点的真空灭弧室会在运转进程中因各种因素致使漏气加重，这更大大缩短了真空灭弧室的运用寿数。
